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日本ファインセラミックス株式会社

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氧化铝(Al2O3

氧化铝(Al2O3)是精密陶瓷中最常用的材料。我司供应纯度为99.5%和99.9%的产品。

  • 电绝缘性
  • 耐磨耗性
  • 耐热性
  • 耐腐蚀性
  • 耐等离子性

アルミナ(Al2O3)の画像

主要用途

  • 半导体制造设备部品(腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘)
  • 粉碎机部件(分级机、气流式粉碎机、珠磨机)
  • 一般产业用部件(激光加工机喷嘴、转轴、轴承)
  • 高精度用,精密用,耐热用冶工具(定位治具、装配夹具)
  • 耐磨耗部件(拉丝机导向辊、钢丝通道、导轨)
  • 电绝缘部件(绝缘子、垫片、衬套)

特点

氧化铝是白色或乳白色的陶瓷,利用其优异的电绝缘性能,早期开始即应用在电子部品上,使用量较多,是精密陶瓷中成本最低的材质。
我司供应纯度为99.5%和99.9%的高纯度产品。高纯度类型氧化铝的机械强度高、耐腐蚀性优异,可生产大型产品。
此外,由于其具有优异的耐等离子特性,也可用于CVD设备或蚀刻设备的部件。

氧化铝

型号特点密度杨氏弹性模量弯曲强度断裂韧性热膨胀系数热传导率体积电阻
[g/cm3][GPa][MPa][MPa・m1/2][×10-6/K][W/m・K][Ω・cm]
ALP01
氧化铝99.5%
用途广泛
高刚性
3.9 370 440 3~4 6.3 33 >1014
ALP02
氧化铝99.9%
高纯度
高刚性
3.9 370 450 3~4 6.3 30 >1014

热膨胀系数为RT~200℃时的测量数据。

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