氧化铝（Al2O3）
[ALP・HALOX]
氧化铝（Al2O3）是精密陶瓷中最常用的材料。除纯度为99.5%和99.9%的ALP系列产品以外，产品线中新增加了HALOX。
- 电绝缘性
- 耐磨耗性
- 耐热性
- 耐腐蚀性
- 耐等离子性
主要用途
- 半导体制造设备部品（腔体部件、绝缘法兰盘、蚀刻设备部件、晶圆夹盘）
- 粉碎机部件（分级机、气流式粉碎机、珠磨机）
- 一般产业用部件（激光加工机喷嘴、转轴、轴承）
- 高精度用，精密用，耐热用冶工具（定位治具、装配夹具）
- 耐磨耗部件（拉丝机导向辊、钢丝通道、导轨）
- 电绝缘部件（绝缘子、垫片、衬套）
特点
氧化铝是白色或乳白色的陶瓷，利用其优异的电绝缘性能，早期开始即应用在电子部品上，使用量较多，是精密陶瓷中成本最低的材质。
我司供应纯度为99.5%，99.8%和99.9%的高纯度产品。高纯度类型氧化铝的机械强度高、耐腐蚀性优异，可生产大型产品。
此外，由于其具有优异的耐等离子特性，也可用于ＣＶＤ设备或蚀刻设备的部件。
氧化铝
| 型号 | 特点 | 密度 | 杨氏弹性模量 | 弯曲强度 | 断裂韧性 | 热膨胀系数 | 热传导率 | 体积电阻 |
|---|---|---|---|---|---|---|---|---|
| [g/cm3] | [GPa] | [MPa] | [MPa・m1/2] | [×10-6/K] | [W/m・K] | [Ω・cm] | ||
| ALP01 氧化铝99.5% |
用途广泛 高刚性 |
3.9 | 370 | 440 | 4 | 6.3 | 33 | ＞1014 |
| ALP02 氧化铝99.9% |
高纯度 高刚性 |
3.9 | 370 | 500 | 3 | 6.3 | 30 | ＞1014 |
| HALOX (H580) 氧化铝99.8% |
用途广泛 大型产品 |
3.9 | 380 | 350 | 4 | 8.0* | 30 | ＞1014 |
热膨胀系数为RT～200℃时的测量数据。*：热膨胀系数为RT～800℃时的测量数据。
上述特性值不是保证值。特性值如有改良时，恕不另行通知。
