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日本ファインセラミックス株式会社

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基板特性表

基板名称 99.9%
氧化铝基板
99.5%
氧化铝基板
96%
氧化铝基板
氧化锆基板
Ceraflex®-A
氧化锆基板
Ceraflex®-8Y
氮化铝基板 合成熔融
石英基板
材质 99.9%Al2O3 99.5%Al2O3 96%Al2O3 3Y-ZrO2 8Y-ZrO2 AlN SiO2
密度
Density
[ g/ ㎤ ]
JISR1634 3.9 3.9 3.8 6.0 5.8 3.3 2.2
弯曲强度(25℃)
Flexural Strength
[MPa]
JISR1601 660 440 300 1200 250 330 60
线膨胀系数
(25~800℃)
Linear Expansion Coefficient
[× 10-6/K]
JISR1618 8 8 8 9.9 9.5 4.6 0.5
热传导率(25℃)
Thermal Conductivity
[W/m・K]
JISR1611 33 32 23 3.2 1.9 200
230
可选
1.4
杨氏弹性模量
Young's Modulus
[GPa]
JISR1602 390 380 340 210 330
泊松比
Poisson's Ratio
[ - ]
0.25 0.25 0.23 0.31 0.24
相対介电常数
(25℃ 1MHz)
Dielectric Constant
[ - ]
9.6 30 25 8.8 3.77
相対介电常数
(25℃ 10GHz)
Dielectric Constant
[ - ]
10 9.8
介质损耗
(25℃ 1MHz)
Dissipation Factor
[ - ]
2 × 10-4 4 × 10-3 ≦4 × 10-3 5.0 × 10-4 1 × 10-4
介质损耗
(25℃ 10GHz)
Dissipation Factor
[ - ]
1 × 10-4 1 × 10-4
体积电阻
Volume Resistivity
[Ω・cm]
JISC2141 1015 1015 1014 1012 1012 1012 1016
※ 表面粗糙度 Ra
(As fired)
Surface Roughness
[μm]
0.03 0.1 0.3 0.1 0.1
标准厚度
Standard Thickness
[mm]
0.15
0.25
0.38
0.5~1.0 0.635
0.8
1.0
0.05~1.0 0.1~0.5
1.0
基板名称 99.9%
氧化铝基板
99.5%
氧化铝基板
96%
氧化铝基板
氧化锆基板
Ceraflex®-A
氧化锆基板
Ceraflex®-8Y
氮化铝基板 合成熔融
石英基板

上述以外的尺寸、厚度请和我们联系协商。 此外,本公司的独特加工技术,可提供Ra=0.02μm以下的镜面加工。
※表面粗糙度的数值请参考上表。
上述特性值不是保证值。特性值如有改良時,恕不另行通知。

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