コンテンツにジャンプ メニューにジャンプ
日本ファインセラミックス株式会社
フリーダイヤル 0120-977-933 ダイヤル 03-5297-1321

ホーム > 製品情報 > アルミナ(Al2O3

アルミナ(Al2O3

アルミナ(Al2O3)はファインセラミックスの中で最もポピュラーな材質です。 純度99.5%と99.9%をラインナップしてます。

  • 電気絶縁性
  • 耐摩耗性
  • 耐熱性
  • 耐食性
  • 耐プラズマ性

アルミナ(Al2O3)の画像

主な用途

  • 半導体製造装置部品(チャンバー部品、絶縁フランジ、エッチング装置部品、ウェハーチャック)
  • 粉砕機部品(分級機、気流式粉砕機、ビーズミル)
  • 一般産業用部品(レーザー加工機用ノズル、シャフト、軸受け)
  • 高精度用、精密用、耐熱用治工具(位置決め治具、組立治具)
  • 耐摩耗部品(伸線機ガイドローラー、糸道、レール、ガイド)
  • 電気絶縁部品(絶縁碍子、スペーサー、ブッシュ)

特長

アルミナは白色または乳白色のセラミックスで、その良好な電気絶縁特性を生かして、早くから電気部品に応用されており、使用量が多く、ファインセラミックスの中では最も安価な材質です。当社では純度99.5%と99.9%の高純度品をラインナップしています。大型製品の製造も可能で、高純度タイプは機械強度が高く、耐食性に優れています。また、耐プラズマ性にも優れていることから、CVD装置やエッチング装置の部品にも使用されています。

アルミナ

型番特長密度ヤング率曲げ強度破壊靱性熱膨張係数熱伝導率体積固有抵抗
[g/cm3][GPa][MPa][MPa・m1/2][×10-6/K][W/m・K][Ω・cm]
ALP01
アルミナ99.5%
汎用
高剛性
3.9 370 440 3~4 6.3 33 >1014
ALP02
アルミナ99.9%
高純度
高剛性
3.9 370 450 3~4 6.3 30 >1014

熱膨張係数はRT~200℃時の測定データです。

お問い合わせフォーム