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日本ファインセラミックス株式会社
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炭化ケイ素(SiC)

炭化ケイ素(SiC)は当社が最も得意とする材質です。専用の大型真空炉を保有しており、□1mの部品製作が可能です。

  • 高温機械強度
  • 耐摩耗性
  • 高熱伝導性
  • 耐薬品性

炭化ケイ素(SiC)の画像

主な用途

  • 摺動部品(メカニカルシール、ケミカルポンプ軸受け、シャフト)
  • 粉砕機部品(分級機、気流式粉砕機、ビーズミル)
  • 半導体製造装置部品(XYステージ、MOCVDトレー、フォーカスリング、ウェハーチャック)
  • 成形機部品(ガラスレンズ成形機部品)
  • 耐熱部品(バーナーノズル、高温試験機部品、金属溶融用坩堝)
  • 耐摩耗部品(ブラストノズル、ショットブラスト用ブレード、埋設管防護板、釣具糸道)

特長

炭化ケイ素(炭化珪素)は黒色のセラミックスで、他のファインセラミックスと比べ高温域(1000℃以上)での機械強度の低下が小さく、耐摩耗性の高い材料です。共有結合性が強いため各種ファインセラミックスの中では最も硬く、耐食性に優れ、液中での摺動特性が良好です。この様な特性を生かし、メカニカルシール、ケミカルポンプ、半導体製造装置のウェハーフォークなどに利用されています。

炭化ケイ素

型番特長密度ヤング率曲げ強度破壊靱性熱膨張係数熱伝導率体積固有抵抗
[g/cm3][GPa][MPa][MPa・m1/2][×10-6/K][W/m・K][Ω・cm]
SCP01 耐食性
高硬度
3.1 430 490 3 3.1 140 104
SCP02 高熱伝導
高抵抗
3.1 430 490 3 3.1 170 106
SCP03 高強度
気孔小
3.1 436 700 3 3.1 132

熱膨張係数はRT~200℃時の測定データです。

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