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基板特性表

基板名 99.9%
アルミナ基板
99.5%
アルミナ基板
96%
アルミナ基板
ジルコニア基板
セラフレックス
®-A
ジルコニア基板
セラフレックス
®-8Y
窒化アルミニウム基板 合成溶融
石英基板
材質 99.9%Al2O3 99.5%Al2O3 96%Al2O3 3Y-ZrO2 8Y-ZrO2 AlN SiO2
密度
Density
[ g/ ㎤ ]
JISR1634 3.9 3.9 3.8 6.0 5.8 3.3 2.2
曲げ強度(25℃)
Flexural Strength
[MPa]
JISR1601 660 440 300 1200 400 330 60
線膨張係数
(25~800℃)
Linear Expansion Coefficient
[1/K]
JISR1618 8 × 10-6 8 × 10-6 8 × 10-6 9.9 × 10-6 9.5 × 10-6 4.6 × 10-6 0.5 × 10-6
熱伝導率(25℃)
Thermal Conductivity
[W/m・K]
JISR1611 33 32 23 3.2 2.8 200
230
選択可
1.4
ヤング率
Young's Modulus
[GPa]
JISR1602 390 380 340 210 330
ポアソン比
Poisson's Ratio
[ - ]
0.25 0.25 0.23 0.31 0.24
比誘電率
(25℃ 1MHz)
Dielectric Constant
[ - ]
9.6 30 25 8.8 3.77
比誘電率
(25℃ 10GHz)
Dielectric Constant
[ - ]
10 9.8
誘電損失
(25℃ 1MHz)
Dissipation Factor
[ - ]
2 × 10-4 4 × 10-3 ≦4 × 10-3 5.0 × 10-4 1 × 10-4
誘電損失
(25℃ 10GHz)
Dissipation Factor
[ - ]
1 × 10-4 1 × 10-4
体積固有抵抗
Volume Resistivity
[Ω・cm]
JISC2141 1015 1015 1014 1012 1012 1012 1016
※ 表面粗さ Ra
(As fired)
Surface Roughness
[μm]
0.03 0.1 0.3 0.1 0.1
標準厚み
Standard Thickness
[mm]
0.15
0.25
0.38
0.5~1.0 0.635
0.8
1.0
0.05~1.0 0.1~0.5
1.0
基板名 99.9%
アルミナ基板
99.5%
アルミナ基板
96%
アルミナ基板
ジルコニア基板
セラフレックス
®-A
ジルコニア基板
セラフレックス
®-8Y
窒化アルミニウム基板 合成溶融
石英基板

その他のサイズ、厚みについては別途御相談に応じます。尚、独自の研磨加工技術により、表面粗さRa=0.02μm以下の鏡面加工も可能です。 ※ 表面粗さについては表側の値となります。
上記特性値は保証値ではありません。特性値は改良のため予告なく変更することがございます。

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