基板特性表
基板名 | 99.9% アルミナ基板 |
99.5% アルミナ基板 |
96% アルミナ基板 |
ジルコニア基板 セラフレックス®-A |
ジルコニア基板 セラフレックス®-8Y |
窒化アルミニウム基板 | 合成溶融 石英基板 |
|
---|---|---|---|---|---|---|---|---|
材質 | 99.9%Al2O3 | 99.5%Al2O3 | 96%Al2O3 | 3Y-ZrO2 | 8Y-ZrO2 | AlN | SiO2 | |
密度 Density [ g/ ㎤ ] |
JISR1634 | 3.9 | 3.9 | 3.8 | 6.0 | 5.8 | 3.3 | 2.2 |
曲げ強度(25℃) Flexural Strength [MPa] |
JISR1601 | 660 | 440 | 300 | 1200 | 250 | 330 | 60 |
線膨張係数 (25~800℃) Linear Expansion Coefficient [1/K] |
JISR1618 | 8 × 10-6 | 8 × 10-6 | 8 × 10-6 | 9.9 × 10-6 | 9.5 × 10-6 | 4.6 × 10-6 | 0.5 × 10-6 |
熱伝導率(25℃) Thermal Conductivity [W/m・K] |
JISR1611 | 33 | 32 | 23 | 3.2 | 1.9 | 200 230 選択可 |
1.4 |
ヤング率 Young's Modulus [GPa] |
JISR1602 | 390 | 380 | 340 | 210 | - | 330 | - |
ポアソン比 Poisson's Ratio [ - ] |
- | 0.25 | 0.25 | 0.23 | 0.31 | - | 0.24 | - |
比誘電率 (25℃ 1MHz) Dielectric Constant [ - ] |
- | - | - | 9.6 | 30 | 25 | 8.8 | 3.77 |
比誘電率 (25℃ 10GHz) Dielectric Constant [ - ] |
- | 10 | 9.8 | - | - | - | - | - |
誘電損失 (25℃ 1MHz) Dissipation Factor [ - ] |
- | - | - | 2 × 10-4 | 4 × 10-3 | ≦4 × 10-3 | 5.0 × 10-4 | 1 × 10-4 |
誘電損失 (25℃ 10GHz) Dissipation Factor [ - ] |
- | 1 × 10-4 | 1 × 10-4 | - | - | - | - | - |
体積固有抵抗 Volume Resistivity [Ω・cm] |
JISC2141 | 1015 | 1015 | 1014 | 1012 | 1012 | 1012 | 1016 |
※ 表面粗さ Ra (As fired) Surface Roughness [μm] |
- | 0.03 | 0.1 | 0.3 | 0.1 | 0.1 | - | - |
標準厚み Standard Thickness [mm] |
- | 0.15 0.25 0.38 |
0.5~1.0 | 0.635 0.8 1.0 |
0.05~1.0 | 0.1~0.5 1.0 |
- | - |
基板名 | 99.9% アルミナ基板 |
99.5% アルミナ基板 |
96% アルミナ基板 |
ジルコニア基板 セラフレックス®-A |
ジルコニア基板 セラフレックス®-8Y |
窒化アルミニウム基板 | 合成溶融 石英基板 |
その他のサイズ、厚みについては別途御相談に応じます。尚、独自の研磨加工技術により、表面粗さRa=0.02μm以下の鏡面加工も可能です。 ※ 表面粗さについては表側の値となります。
上記特性値は保証値ではありません。特性値は改良のため予告なく変更することがございます。