基板特性表

基板名		99.9% アルミナ基板	99.5% アルミナ基板	96% アルミナ基板	ジルコニア基板 セラフレックス®－A	ジルコニア基板 セラフレックス®－8Y	窒化アルミニウム基板	合成溶融 石英基板
材質		99.9%Al2O3	99.5%Al2O3	96%Al2O3	3Y－ZrO2	8Y－ZrO2	AlN	SiO2
密度 Density [ g/ ㎤ ]	JISR1634	3.9	3.9	3.8	6.0	5.8	3.3	2.2
曲げ強度（25℃） Flexural Strength [MPa]	JISR1601	660	440	300	1200	400	330	60
線膨張係数 （25～800℃） Linear Expansion Coefficient [1/K]	JISR1618	8 × 10－6	8 × 10－6	8 × 10－6	9.9 × 10－6	9.5 × 10－6	4.6 × 10－6	0.5 × 10－6
熱伝導率（25℃） Thermal Conductivity [W/m・K]	JISR1611	33	32	23	3.2	2.8	200 230 選択可	1.4
ヤング率 Young's Modulus [GPa]	JISR1602	390	380	340	210	－	330	－
ポアソン比 Poisson's Ratio [ － ]	－	0.25	0.25	0.23	0.31	－	0.24	－
比誘電率 （25℃ 1MHz） Dielectric Constant [ － ]	－	－	－	9.6	30	25	8.8	3.77
比誘電率 （25℃ 10GHz） Dielectric Constant [ － ]	－	10	9.8	－	－	－	－	－
誘電損失 （25℃ 1MHz） Dissipation Factor [ － ]	－	－	－	2 × 10－4	4 × 10－3	≦4 × 10－3	5.0 × 10－4	1 × 10－4
誘電損失 （25℃ 10GHz） Dissipation Factor [ － ]	－	1 × 10－4	1 × 10－4	－	－	－	－	－
体積固有抵抗 Volume Resistivity [Ω・cm]	JISC2141	1015	1015	1014	1012	1012	1012	1016
※ 表面粗さ Ra （As fired） Surface Roughness [μm]	－	0.03	0.1	0.3	0.1	0.1	－	－
標準厚み Standard Thickness [mm]	－	0.15 0.25 0.38	0.5～1.0	0.635 0.8 1.0	0.05～1.0	0.1～0.5 1.0	－	－
基板名		99.9% アルミナ基板	99.5% アルミナ基板	96% アルミナ基板	ジルコニア基板 セラフレックス®－A	ジルコニア基板 セラフレックス®－8Y	窒化アルミニウム基板	合成溶融 石英基板

その他のサイズ、厚みについては別途御相談に応じます。尚、独自の研磨加工技術により、表面粗さRa=0.02μm以下の鏡面加工も可能です。　※ 表面粗さについては表側の値となります。
上記特性値は保証値ではありません。特性値は改良のため予告なく変更することがございます。