- 半導体製造装置部品(チャンバー部品、絶縁フランジ、ウェハーフォーク、ウェハーチャック、など)
- 一般産業用部品(シャフト、軸受け、など)
- 高精度用、精密用、耐熱用治工具(位置決め治具、角度治具、組立治具、など)
- 耐磨耗部品(糸道、レール、ガイド、など)
- 電気絶縁部品(碍子、スペーサ-、ブッシュ、など)
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白色または乳白色のセラミックスです。
当社では、純度96%から純度99.9%の高純度品まで4グレードをラインナップしています。アルミナはその良好な電気絶縁特性を生かして早くから各種の電気部品に応用され、使用量が多く、ファインセラミックスの中では最も安価な材質です。大型製品の製造も可能で、高純度タイプは機械強度が高く、耐食性に優れています。また、耐プラズマ性にも優れていることから、CVD装置やエッチング装置の部品にも使用されています。
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