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窒化ケイ素(窒化珪素)
窒化ケイ素(窒化珪素・チッカケイソ Si3N4)はケイ素の窒化物で、各種ファインセラミックスの中で最も材料特性のバランスが良いといわれています。
窒化ケイ素(窒化珪素) 主な用途 窒化ケイ素(窒化珪素) 特徴
  • ベアリング部品(軸受け、など)
  • 耐磨耗性部品(モーターシャフト、軸受け、釣具糸道、伸線キャプスタン、など)
  • 半導体製造装置部品(IC用検査台、クランパー、チャック、突上げ台、など)
  • 耐熱部品(バーナーノズル、熱交換器部品、溶融金属用坩堝、反応管、など)

窒化ケイ素(窒化珪素)は灰色のセラミックスで、耐熱衝撃抵抗性に優れ、溶融金属に比較的濡れ難い性質を持っています。これらの特性を利用して自動車のエンジン部品などの内燃機関部品や溶接機のトーチノズルなど、特に熱のかかる過酷な環境で使用される部品に活用されています。また、高い耐磨耗性と機械強度を利用してベアリング部品やシャフト、軸受けに、更には低発塵の効用を活用してクリーンな環境を要求される半導体製造装置の部品へと利用が進んでいます。

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