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日本ファインセラミックス株式会社

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[SA001]

Al/Si复合材料
[SA001]

  • 采用独家技术对金属硅和铝进行复合化。
  • 实现了比铝更轻,和铸铁同等的刚性,且近似于陶瓷材料的低热膨胀。
  • 对应小批量生产,最大尺寸1m x 0.5m(可协商)

図:複合金属材料 シリコン SA001 アルミニウム

SA001掲載図(c).PNG

特性值比较

材质MMCA5052FC250氧化铝
SA001SA301SA701
密度(g/cm3) 2.4 2.8 3.0 2.7 7.3 3.9
杨氏弹性模量(GPa) 120 125 260 70 115 370
比刚度 50 45 87 26 16 95
断裂韧性(MPa√m) 3 15 8 3
热膨胀系数(x10-6/K) 9 14 7 23 10 7
热传导率(W/m・K) 120 150 160 140 50 30

※熱膨張係数:RT~200℃時
 上述特性值为基于一般公开数据及我司调查结果的参考值,非保证值。

  • SA001_比剛性(中文)_矢印追加_trim.png
  • SA001_熱特性(中文)_矢印追加_trim.png

特点

  • 轻量 比铝轻!
  • 高刚性 约为铝的1.7倍!
  • 低热膨胀 几乎和铸铁同等!

用途

  • ESC静电吸盘底座
  • 探针卡部件

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