薄膜电感 电感器是可以用磁性形式存储电能的无源电子元件。通过和薄膜电容器的组合,可实现LC电路。 详细 膜构成 Ti/Pd/AuTi/Pt/AuTi/Pd/Cu/Ni/Au 最小线宽/线距 膜构成 1、2的情况 20μm / 15μm以上 膜构成 3的情况 30μm / 20μm以上 回路精度 膜构成 1、2的情况 ±5μm(镀Au厚3μm时) 膜构成 3的情况 ±5μm(镀Au厚1.5μm时)