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日本ファインセラミックス株式会社

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薄膜电感

电感器是可以用磁性形式存储电能的无源电子元件。通过和薄膜电容器的组合,可实现LC电路。

図:薄膜インダクタ

详细

膜构成

  1. Ti/Pd/Au
  2. Ti/Pt/Au
  3. Ti/Pd/Cu/Ni/Au

最小线宽/线距

膜构成 1、2的情况 20μm / 15μm以上
膜构成 3的情况 30μm / 20μm以上

回路精度

膜构成 1、2的情况 ±5μm(镀Au厚3μm时)
膜构成 3的情况 ±5μm(镀Au厚1.5μm时)

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