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薄膜インダクタ

インダクタ は電気エネルギーを磁気の形で蓄えることができる受動電子部品です。薄膜キャパシタと組み合わせてLC回路を実現することも可能です。

図:薄膜インダクタ

詳細

膜構成

  1. Ti/Pd/Au
  2. Ti/Pt/Au
  3. Ti/Pd/Cu/Ni/Au

最小ライン幅/スペース

膜構成 1、2の場合 20μm / 15μm以上
膜構成 3の場合 30μm / 20μm以上

パターン精度

膜構成 1、2の場合 ±5μm(Auメッキ厚3μm時)
膜構成 3の場合 ±5μm(Auメッキ厚1.5μm時)

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