薄膜インダクタ インダクタ は電気エネルギーを磁気の形で蓄えることができる受動電子部品です。薄膜キャパシタと組み合わせてLC回路を実現することも可能です。 詳細 膜構成 Ti/Pd/AuTi/Pt/AuTi/Pd/Cu/Ni/Au 最小ライン幅/スペース 膜構成 1、2の場合 20μm / 15μm以上 膜構成 3の場合 30μm / 20μm以上 パターン精度 膜構成 1、2の場合 ±5μm(Auメッキ厚3μm時) 膜構成 3の場合 ±5μm(Auメッキ厚1.5μm時)