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日本ファインセラミックス株式会社
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アルミ/Si複合材料(開発品)

  • 金属シリコンとアルミニウムを独自技術により複合化しました。
  • アルミ材よりも軽く、鋳鉄同等の剛性を有し、かつセラミックス材に近い低熱膨張性を実現しております。
  • 小ロット量産対応可,製作最大寸法1m×0.5m(要相談)

  SA001

図:複合金属材料 シリコン SA001 アルミニウム

特性値比較

材質MMCA5052FC250アルミナ
SA001SA301SA701
密度(g/cm3) 2.4 2.8 3.0 2.7 7.3 3.9
ヤング率(GPa) 120 125 260 70 115 370
比剛性 50 45 87 26 16 95
破壊靱性(MPa√m) 3 15 8 3
熱膨張係数(x10-6/K) 9 14 7 23 10 7
熱伝導率(W/m・K) 120 150 160 140 50 30

※熱膨張係数:RT~200℃時上記特性は一般公開データ、弊社調査結果を基にした参考値です。

  • SA001_比剛性.png
  • SA001_熱特性.png

特長

  • 軽量 アルミニウムよりも軽い!
  • 高剛性 アルミニウムの約1.7倍!
  • 低熱膨張 鋳鉄とほぼ同等!

用途

  • 静電チャック台座
  • プローブカード部品

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