アルミ/シリコン複合材料
[SA001]
- 金属シリコンとアルミニウムを独自技術により複合化しました。
- アルミ材よりも軽く、鋳鉄同等の剛性を有し、かつセラミックス材に近い低熱膨張性を実現しております。
- 小ロット量産対応可，製作最大寸法1m×0.5m（要相談）
特性値比較
| 材質 | MMC | A5052 | FC250 | アルミナ | ||
|---|---|---|---|---|---|---|
| SA001 | SA301 | SA701 | ||||
| 密度(g/cm3) | 2.4 | 2.8 | 3.0 | 2.7 | 7.3 | 3.9 |
| ヤング率(GPa) | 120 | 125 | 260 | 70 | 115 | 370 |
| 比剛性 | 50 | 45 | 87 | 26 | 16 | 95 |
| 破壊靱性（MPa√m） | 3 | 15 | 8 | － | － | 3 |
| 熱膨張係数(x10-6/K) | 9 | 14 | 7 | 23 | 10 | 7 |
| 熱伝導率(W/m・K) | 120 | 150 | 160 | 140 | 50 | 30 |
※熱膨張係数：RT～200℃時
上記特性は一般公開データ、弊社調査結果を基にした参考値です。
特長
- 軽量 アルミニウムよりも軽い！
- 高剛性 アルミニウムの約1.7倍！
- 低熱膨張 鋳鉄とほぼ同等！
用途
- 静電チャック台座
- プローブカード部品
