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日本ファインセラミックス株式会社
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アルミ/SiC複合材料(浸透法)

SiCセラミックス多孔体にアルミニウムを含浸させた複合材料です。


SA701

アルミ/SiC複合材料(SiC70vol% 浸透法)SA701 の画像

アルミと比べて

アルミと同等の重さで、弾性率は約4倍に向上。
熱膨張を1/3以下に低減し、熱伝導率もアップ。

SUSと比べて

SUSの1/3の重量で弾性率は2割アップ。
熱膨張を4割にまで低減し、熱伝導率は10倍にアップ。

部品の材質をSA701に変えるだけで装置性能が格段に向上します。

セラミックス(アルミナ)と比べて

セラミックスよりも大型部品を製作することが容易で安価です。
セラミックスにアルミが含まれることにより割れにくくなり(靱性値2倍)取り扱いが楽になります。

特長

  • 軽量 アルミニウムと同等!
  • 高剛性 SUSの1.2倍!
  • 対セラミックス 大型化
    セラミックス通常□1m程度→□1.5m以上の大型品可能!
  • 対セラミックス 破壊靭性UP
  • 対金属 耐摩耗性UP

用途

  • 2mサイズの液晶製造装置用テーブル
  • 搬送用ハンド部品(液晶、半導体)
  • 耐摩耗部品(ジェットミルのライナー部品)
  • ヒートシンク

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