ランゲカプラ 高周波信号を分配することができます。当社のランゲカプラなら、ライン(20μm)、スペース(15μm)で製作できます。「エアブリッジ」を組み合わせることで最短距離で配線をつなげることも可能です。 詳細 膜構成 Ti/Pd/AuTi/Pt/AuTi/Pd/Cu/Ni/Au 最小ライン幅/スペース 膜構成 1、2の場合 20μm / 15μm以上 膜構成 3の場合 30μm / 20μm以上 パターン精度 膜構成 1、2の場合 ±5μm(Auメッキ厚3μm時) 膜構成 3の場合 ±5μm(Auメッキ厚1.5μm時)