アルミナウェハー 当社のアルミナウェハーは最大φ300mm(φ12inch)の寸法まで製作致します。 高密度でポアが少ないため微細な回路形成が可能です。 微細な丸孔、角孔、スリットなどを施して提供することもできます。 主な用途 薄膜回路用基板センサ部材用基板半導体プロセス用基板 特長 最大寸法φ300mm (φ12inch)まで製作可能です。表面粗さが小さく(Ra0.03um以下)、表面ポアが少ないため微細な回路形成が可能です。曲げ強度が大きいため、板厚を薄くすることが可能です。高周波帯域での誘電損失が少ないため、高周波回路形成に最適です。 基板特性表 基板製造プロセス
