アルミ/SiC複合材料（浸透法）
[SA701]
SiCセラミックス多孔体にアルミニウムを含浸させた複合材料です。
アルミの1.1倍の重さでSUSの1.2倍の弾性率を実現した軽量高剛性材料です。
アルミと比べて
アルミの約1.1倍の重さで、弾性率は約4倍に向上。
熱膨張を1/3以下に低減し、熱伝導率もアップ。
SUSと比べて
SUSの1/3の重量で弾性率は2割アップ。
熱膨張を4割にまで低減し、熱伝導率は10倍にアップ。
部品の材質をSA701に変えるだけで装置性能が格段に向上します。
セラミックス（アルミナ）と比べて
セラミックスよりも大型部品を製作することが容易で安価です。
セラミックスにアルミが含まれることにより割れにくくなり（靱性値２倍）取り扱いが楽になります。
特長
- 軽量 アルミニウムと同等！
- 高剛性 SUSの1.2倍！
- 対セラミックス 大型化
セラミックス通常□1m程度→□1.5m以上の大型品可能！ - 対セラミックス 破壊靭性UP
- 対金属 耐摩耗性UP
用途
- 2mサイズの液晶製造装置用テーブル
- 搬送用ハンド部品（液晶、半導体）
- 耐摩耗部品（ジェットミルのライナー部品）
- ヒートシンク
関連リンク
