超精密平面加工
平面度・平行度を高精度に仕上げてほしい、面形状を中高（中低）に仕上げてほしいなど、お客様のご要望にお応えします。
主な製品
- 静電チャック・ラッププレート
- 真空チャック
- 各種半導体製造装置部品
高精度加工例：φ576アルミナプレート 平面度0.55μm
φ576アルミナプレート／加工機
面形状測定結果
高精度加工例：8インチピンチャック 平面度0.171μm
面形状（凹凸）制御 中高／中低
1μm以内で凸形状（中高）に仕上げてほしい、5μm以内で凹形状（中低）に仕上げてほしい等、
ご要望に応じて、任意の精度で凹形状や凸形状に仕上げます。
φ576アルミナプレート
加工例：平面度1μm中低狙い ＊中高も可能です。
加工例：平面度4μm中低狙い ＊中高も可能です。
設備一覧_名東工場_岩手工場.pdf(PDF:86.6KB)
